真空泵是利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置的氣體輸送機械,它把氣體從低于個大氣壓的環(huán)境中輸送到大氣中或與大氣壓力相同的環(huán)境中。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,從而使設備內(nèi)的壓力低于個大氣壓的機器,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。隨著真空應用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的*真空范圍。
真空泵的總體結構方式與傳動方式
真空泵的泵體布置結構決定了泵的總體結構:
1、立式結構:進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵;
2、臥式結構:泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。
真空泵的傳動方式:
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。
所具有的特點:
1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
2、轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
4、泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。